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剖麵/晶背研磨

離子束剖麵研磨(CP)

掃描式電子顯微鏡(SEM)

· 項目描述

利用砂紙或鑽石砂紙,搭配研磨頭作局部研磨(Polishing),加上後續的拋光,可處理出清晰的樣品表麵。剖麵、斷麵研磨與(yu) 晶背研磨(Backside Polishing),都是為(wei) 了可以銜接後續的分析檢測。

· 檢測內容

(1)研磨(Polishing)基本流程(2)切割:利用切割機裁將樣品裁切成適當尺寸;(3)冷埋:利用混合膠填滿樣品隙縫,增強樣品之結構強度,避免受研磨應力而造樣品毀損;(4)研磨:樣品以不同粗細之砂紙 (或鑽石砂紙),進行研磨;(5)拋光:於(yu) 絨布轉盤上加入適當的拋光液,進行拋光以消除研磨所殘留的細微刮痕。

· 應用領域

芯片產(chan) 品,如覆晶封裝( Flip Chip)、鋁/銅製程結構、C-MOS Image Sensor;PCB/PCBA等各種板材或成品;LED成品

· 檢測設備