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砷化镓銦微光顯微鏡

激光束電阻異常偵(zhen) 測

Thermal EMMI(InSb)

· 項目描述

砷化镓銦微光顯微鏡(InGaAs)與(yu) 微光顯微鏡(EMMI)其偵(zhen) 測原理相同，都是用來偵(zhen) 測故障點定位，尋找亮點、熱點(Hot Spot)的工具。

· 檢測內容

（1）半導體(ti) 失效分析 （2）通訊領域中光斑分析 （3）光學相控陣

· 應用領域

先進製程組件、IC芯片

· 檢測設備